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  • 더 적게 더 무해하게
    온실가스를
    줄이기 위한 노력
    더 적게 더 무해하게
    온실가스를
    줄이기 위한 노력
    더 적게 더 무해하게
    온실가스를
    줄이기 위한 노력

    나무들 위로 푸르고 깨끗한 하늘이 보입니다.
온실가스 배출,
최소화를 넘어 제로화에
다다를 때까지 온실가스 배출,
최소화를 넘어 제로화에
다다를 때까지 온실가스 배출,
최소화를 넘어 제로화에
다다를 때까지
Journey for sustainability Journey for sustainability Journey for sustainability
지속 가능성을 위한 여정"이라는 문구가 표시된 숲 속 나무가 늘어선 길을 걷고 있는 세 사람의 모습

일상의 모든 부분에 함께하는 반도체. 이제 반도체가 없는 세상을 상상할 수가 없습니다.

 

기술이 발전해 나갈수록 반도체에 대한 수요는 계속해서 늘어나고 있으며 환경에 대한 부담도 같이 늘 수 밖에 없습니다.

 

우리 삼성전자 반도체는 첨단기술을 통해 반도체를 만들 뿐 아니라 생산 과정에서의 탄소배출을 줄이기 위해 끊임없이 친환경 기술을 개발하고, 발굴하며 이를 제품 생산 과정에 적용하여 자연에 미치는 영향을 최소화하고 온실가스 저감에 힘쓰고 있습니다.

일상의 모든 부분에 함께하는 반도체. 이제 반도체가 없는 세상을 상상할 수가 없습니다.

 

기술이 발전해 나갈수록 반도체에 대한 수요는 계속해서 늘어나고 있으며 환경에 대한 부담도 같이 늘 수 밖에 없습니다.

 

우리 삼성전자 반도체는 첨단기술을 통해 반도체를 만들 뿐 아니라 생산 과정에서의 탄소배출을 줄이기 위해 끊임없이 친환경 기술을 개발하고, 발굴하며 이를 제품 생산 과정에 적용하여 자연에 미치는 영향을 최소화하고 온실가스 저감에 힘쓰고 있습니다.

일상의 모든 부분에 함께하는 반도체. 이제 반도체가 없는 세상을 상상할 수가 없습니다.

 

기술이 발전해 나갈수록 반도체에 대한 수요는 계속해서 늘어나고 있으며 환경에 대한 부담도 같이 늘 수 밖에 없습니다.

 

우리 삼성전자 반도체는 첨단기술을 통해 반도체를 만들 뿐 아니라 생산 과정에서의 탄소배출을 줄이기 위해 끊임없이 친환경 기술을 개발하고, 발굴하며 이를 제품 생산 과정에 적용하여 자연에 미치는 영향을 최소화하고 온실가스 저감에 힘쓰고 있습니다.

자발적으로 온실가스 저감을 위해
연구하고 개발하는 삼성전자 반도체 자발적으로 온실가스 저감을 위해
연구하고 개발하는 삼성전자 반도체 자발적으로
온실가스 저감을 위해
연구하고 개발하는
삼성전자 반도체

반도체 제조공정에서 불가피하게 발생하는 온실가스 배출량을 줄이기 위해 삼성전자 반도체는 오래전부터 노력해왔습니다. 1999년, 세계반도체협의회(WSC)에서 반도체 업계의 온실가스 저감 추진 협약을 체결하자 삼성전자 반도체는 자발적으로 불소가스(F-gas)를 감축했습니다. 온실가스 배출량을 줄이기 위해 지속적으로 노력해 2009년에는 온실가스 통합처리시설을 설치해 운영하기 시작했고, 이후 점차 확대 적용 및 촉매 개발을 통해 처리효율을 향상했습니다.

반도체 제조공정에서 불가피하게 발생하는 온실가스 배출량을 줄이기 위해 삼성전자 반도체는 오래전부터 노력해왔습니다. 1999년, 세계반도체협의회(WSC)에서 반도체 업계의 온실가스 저감 추진 협약을 체결하자 삼성전자 반도체는 자발적으로 불소가스(F-gas)를 감축했습니다. 온실가스 배출량을 줄이기 위해 지속적으로 노력해 2009년에는 온실가스 통합처리시설을 설치해 운영하기 시작했고, 이후 점차 확대 적용 및 촉매 개발을 통해 처리효율을 향상했습니다.

반도체 제조공정에서 불가피하게 발생하는 온실가스 배출량을 줄이기 위해 삼성전자 반도체는 오래전부터 노력해왔습니다. 1999년, 세계반도체협의회(WSC)에서 반도체 업계의 온실가스 저감 추진 협약을 체결하자 삼성전자 반도체는 자발적으로 불소가스(F-gas)를 감축했습니다. 온실가스 배출량을 줄이기 위해 지속적으로 노력해 2009년에는 온실가스 통합처리시설을 설치해 운영하기 시작했고, 이후 점차 확대 적용 및 촉매 개발을 통해 처리효율을 향상했습니다.

RCS는
삼성전자 반도체가 반도체 업계
최초로 설치하여 사용하는
대용량 통합 온실가스
처리시설입니다. RCS는
삼성전자 반도체가 반도체 업계
최초로 설치하여 사용하는
대용량 통합 온실가스
처리시설입니다. RCS는
삼성전자 반도체가 반도체 업계 최초로 설치하여 사용하는 대용량 통합 온실가스 처리시설입니다.

RCS를 통해
공정가스를 옥상에서 처리하면
어떤 점이 좋을까요? RCS를 통해
공정가스를 옥상에서 처리하면
어떤 점이 좋을까요? RCS를 통해 공정가스를 옥상에서 처리하면 어떤 점이 좋을까요?

RCS(Regenerative Catalytic System)는 촉매를 사용해 공정가스를 옥상에서 통합 처리하는 시설입니다. RCS는 2007년 삼성전자 반도체, 삼성 E&A와 공동 개발해 2009년 업계 최초로 적용한 대용량 통합 온실가스 처리시설로, 모든 설비의 배출구가 옥상으로 연결되어 있는 점이 특징인데요. 타사의 개별처리시설(POU, Point of use)과 비교했을 때 삼성전자 반도체의 통합처리시설 RCS는 낮은 온도에서 공정가스 처리가 가능해 연료 사용을 절감할 수 있고 대기 오염 물질(Air pollutants) 발생도 적습니다. 삼성전자 반도체는 한 걸음 더 나아가 공정처리 효율을 높이기 위해 3세대 RCS 촉매를 개발·적용해 PFCs 처리효율을 97%까지 개선하였습니다. 

 

삼성전자 반도체는 2024년에 RCS 4대를 1개 생산라인에 추가 설치하여 누적 52대를 설치 및 운영하고 있습니다. 앞으로도 신규 생산 라인은 물론, 설치가 불가능한 일부의 경우를 제외한 기존 라인에도 RCS 설치를 지속적으로 확대해 나갈 예정입니다.

RCS(Regenerative Catalytic System)는 촉매를 사용해 공정가스를 옥상에서 통합 처리하는 시설입니다. RCS는 2007년 삼성전자 반도체, 삼성 E&A와 공동 개발해 2009년 업계 최초로 적용한 대용량 통합 온실가스 처리시설로, 모든 설비의 배출구가 옥상으로 연결되어 있는 점이 특징인데요. 타사의 개별처리시설(POU, Point of use)과 비교했을 때 삼성전자 반도체의 통합처리시설 RCS는 낮은 온도에서 공정가스 처리가 가능해 연료 사용을 절감할 수 있고 대기 오염 물질(Air pollutants) 발생도 적습니다. 삼성전자 반도체는 한 걸음 더 나아가 공정처리 효율을 높이기 위해 3세대 RCS 촉매를 개발·적용해 PFCs 처리효율을 97%까지 개선하였습니다. 

 

삼성전자 반도체는 2024년에 RCS 4대를 1개 생산라인에 추가 설치하여 누적 52대를 설치 및 운영하고 있습니다. 앞으로도 신규 생산 라인은 물론, 설치가 불가능한 일부의 경우를 제외한 기존 라인에도 RCS 설치를 지속적으로 확대해 나갈 예정입니다.

RCS(Regenerative Catalytic System)는 촉매를 사용해 공정가스를 옥상에서 통합 처리하는 시설입니다. RCS는 2007년 삼성전자 반도체, 삼성 E&A와 공동 개발해 2009년 업계 최초로 적용한 대용량 통합 온실가스 처리시설로, 모든 설비의 배출구가 옥상으로 연결되어 있는 점이 특징인데요. 타사의 개별처리시설(POU, Point of use)과 비교했을 때 삼성전자 반도체의 통합처리시설 RCS는 낮은 온도에서 공정가스 처리가 가능해 연료 사용을 절감할 수 있고 대기 오염 물질(Air pollutants) 발생도 적습니다. 삼성전자 반도체는 한 걸음 더 나아가 공정처리 효율을 높이기 위해 3세대 RCS 촉매를 개발·적용해 PFCs 처리효율을 97%까지 개선하였습니다. 

 

삼성전자 반도체는 2024년에 RCS 4대를 1개 생산라인에 추가 설치하여 누적 52대를 설치 및 운영하고 있습니다. 앞으로도 신규 생산 라인은 물론, 설치가 불가능한 일부의 경우를 제외한 기존 라인에도 RCS 설치를 지속적으로 확대해 나갈 예정입니다.

대용량 통합 처리시설 RCS의 모습입니다.
RCS 처리 과정 RCS 처리 과정 RCS 처리 과정

2024년 온실가스 감축량, 15,238천 톤 2024년 온실가스 감축량, 15,238천 톤 2024년 온실가스 감축량, 15,238천 톤

사업장의 온실가스 배출 저감을 위해 삼성전자 반도체는 공정가스 처리와 재생에너지 사용 확대에 집중하고 있습니다. 각 사업장은 매년 온실가스 배출량을 예상해 제조 공정에 최적화된 온실가스 감축 과제를 발굴하고 감축 계획을 수립하여 이행하는데요.

 

2024년에는 공정가스 처리 시설 운영, 재생에너지 사용, 공정 효율화 및 대체가스 사용 등 온실가스 감축 프로젝트를 통해 총 15,238천 톤의 온실가스를 감축했습니다.

사업장의 온실가스 배출 저감을 위해 삼성전자 반도체는 공정가스 처리와 재생에너지 사용 확대에 집중하고 있습니다. 각 사업장은 매년 온실가스 배출량을 예상해 제조 공정에 최적화된 온실가스 감축 과제를 발굴하고 감축 계획을 수립하여 이행하는데요.

 

2024년에는 공정가스 처리 시설 운영, 재생에너지 사용, 공정 효율화 및 대체가스 사용 등 온실가스 감축 프로젝트를 통해 총 15,238천 톤의 온실가스를 감축했습니다.

사업장의 온실가스 배출 저감을 위해 삼성전자 반도체는 공정가스 처리와 재생에너지 사용 확대에 집중하고 있습니다. 각 사업장은 매년 온실가스 배출량을 예상해 제조 공정에 최적화된 온실가스 감축 과제를 발굴하고 감축 계획을 수립하여 이행하는데요.

 

2024년에는 공정가스 처리 시설 운영, 재생에너지 사용, 공정 효율화 및 대체가스 사용 등 온실가스 감축 프로젝트를 통해 총 15,238천 톤의 온실가스를 감축했습니다.

사업장 온실가스 감축 성과 사업장 온실가스 감축 성과 사업장 온실가스 감축 성과
2023년 대비 2024년의 온실가스 감축 성과를 나타내는 인포그래픽
2024년 온실가스 감축 비율 2024년 온실가스 감축 비율 2024년 온실가스 감축 비율
2024년의 온실가스 감축 비율을 나타내는 그래프

반도체 공정가스 감축,
온실가스 감축으로 이어집니다. 반도체 공정가스 감축,
온실가스 감축으로 이어집니다. 반도체 공정가스 감축,
온실가스 감축으로 이어집니다.

반도체 공정가스 감축 반도체 공정가스 감축 반도체 공정가스 감축
  • 공정가스 사용량 절감을 통해 온실가스 감축
  • 공정가스 처리효율 향상 RCS를 통해 처리효율 97% 이상 달성
  • 지구온난화지수가 낮은 대체가스 개발 일부 제품의 공정에서 PFCs가스를 대체

삼성전자 반도체는 반도체 제조공정에서 사용하는 공정가스, LNG와 같은 연료로 인한 온실가스 직접 배출량(Scope 1)을 최소화하기 위해 다방면으로 노력하고 있습니다. 먼저 공정가스 처리 효율을 대폭 개선할 수 있는 온실가스 배출 저감 기술을 적용하고, 폐열 활용을 적극 확대하여 연료 사용을 줄여나가고 있습니다. 또한 반도체 제조 공정에서 발생하는 이산화탄소를 정제하여 소재 자원으로 재이용하는 기술을 개발하고 있습니다. 2030년부터 반도체 제조시설에 적용할 계획이며, 이산화탄소를 재생하여 순환 공급할 수 있을 것으로 예상합니다.

삼성전자 반도체는 반도체 제조공정에서 사용하는 공정가스, LNG와 같은 연료로 인한 온실가스 직접 배출량(Scope 1)을 최소화하기 위해 다방면으로 노력하고 있습니다. 먼저 공정가스 처리 효율을 대폭 개선할 수 있는 온실가스 배출 저감 기술을 적용하고, 폐열 활용을 적극 확대하여 연료 사용을 줄여나가고 있습니다. 또한 반도체 제조 공정에서 발생하는 이산화탄소를 정제하여 소재 자원으로 재이용하는 기술을 개발하고 있습니다. 2030년부터 반도체 제조시설에 적용할 계획이며, 이산화탄소를 재생하여 순환 공급할 수 있을 것으로 예상합니다.

삼성전자 반도체는 반도체 제조공정에서 사용하는 공정가스, LNG와 같은 연료로 인한 온실가스 직접 배출량(Scope 1)을 최소화하기 위해 다방면으로 노력하고 있습니다. 먼저 공정가스 처리 효율을 대폭 개선할 수 있는 온실가스 배출 저감 기술을 적용하고, 폐열 활용을 적극 확대하여 연료 사용을 줄여나가고 있습니다. 또한 반도체 제조 공정에서 발생하는 이산화탄소를 정제하여 소재 자원으로 재이용하는 기술을 개발하고 있습니다. 2030년부터 반도체 제조시설에 적용할 계획이며, 이산화탄소를 재생하여 순환 공급할 수 있을 것으로 예상합니다.

제조 공정 에너지도
아낍니다. 제조 공정 에너지도
아낍니다. 제조 공정 에너지도
아낍니다.
두개의 배터리, 공장, 구름에 CO2가 적혀있는 인포그래픽

주요 에너지 절감 활동

  • 생산 및 부대설비의 운전조건* 최적화
    * 온도, 유량 등
  • 냉동 계통 최적운전 시스템 적용을 통한 냉각 성능 향상
  • 공기 압축설비 통합 운전으로 Vent량* 최소화
    * 최소 생산량
  • 설비의 Damper 개도율 조정을 통한 배기 풍량* 최적화
    * 배기Fan 사용전력

제조 사업장에서는 에너지 사용을 절감하기 위해 각 사업장 특성에 맞는 프로젝트를 추진합니다.

연료 사용량도 줄입니다. 연료 사용량도 줄입니다. 연료 사용량도 줄입니다.

사업장 내 연료 사용량을 절감을 위해 운전 최적화, 폐열 회수, 비연료형 설비 개발을 적극 추진 중입니다. 특히, 신규 라인에서는 공업용 폐수를 방류하기 전 폐열을 추가로 회수하고, 냉각수의 폐열을 동절기뿐 아닌 연중 내내 사용하여 외조기 승온용 LNG 사용을 억제하도록 설계하였습니다. 이처럼 신규 라인에 사업장 폐열 회수 시스템을 도입한 결과, 2024년 기흥·화성·평택사업장 폐열 사용률을 51%까지 높였습니다. 삼성전자 반도체는 LNG 기반 열원을 대체할 수 있는 설비를 지속적으로 도입하는 것뿐만 아니라 폐열 회수를 기존 라인까지 확대하고, 신규 라인은 폐열 사용률을 70%에서 90% 이상까지 확대할 계획입니다.

사업장 내 연료 사용량을 절감을 위해 운전 최적화, 폐열 회수, 비연료형 설비 개발을 적극 추진 중입니다. 특히, 신규 라인에서는 공업용 폐수를 방류하기 전 폐열을 추가로 회수하고, 냉각수의 폐열을 동절기뿐 아닌 연중 내내 사용하여 외조기 승온용 LNG 사용을 억제하도록 설계하였습니다. 이처럼 신규 라인에 사업장 폐열 회수 시스템을 도입한 결과, 2024년 기흥·화성·평택사업장 폐열 사용률을 51%까지 높였습니다. 삼성전자 반도체는 LNG 기반 열원을 대체할 수 있는 설비를 지속적으로 도입하는 것뿐만 아니라 폐열 회수를 기존 라인까지 확대하고, 신규 라인은 폐열 사용률을 70%에서 90% 이상까지 확대할 계획입니다.

사업장 내 연료 사용량을 절감을 위해 운전 최적화, 폐열 회수, 비연료형 설비 개발을 적극 추진 중입니다. 특히, 신규 라인에서는 공업용 폐수를 방류하기 전 폐열을 추가로 회수하고, 냉각수의 폐열을 동절기뿐 아닌 연중 내내 사용하여 외조기 승온용 LNG 사용을 억제하도록 설계하였습니다. 이처럼 신규 라인에 사업장 폐열 회수 시스템을 도입한 결과, 2024년 기흥·화성·평택사업장 폐열 사용률을 51%까지 높였습니다. 삼성전자 반도체는 LNG 기반 열원을 대체할 수 있는 설비를 지속적으로 도입하는 것뿐만 아니라 폐열 회수를 기존 라인까지 확대하고, 신규 라인은 폐열 사용률을 70%에서 90% 이상까지 확대할 계획입니다.

1999년부터
온실가스를 줄이기 위해
노력해온 삼성전자 반도체, 1999년부터
온실가스를 줄이기 위해
노력해온 삼성전자 반도체, 1999년부터
온실가스를 줄이기 위해
노력해온 삼성전자 반도체,
지금은 온실가스 배출 제로화를
향해 나아가고 있습니다. 지금은 온실가스 배출 제로화를
향해 나아가고 있습니다. 지금은 온실가스 배출 제로화를 향해 나아가고 있습니다.

지구를 지키는
삼성전자 반도체의 이야기

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