삼성전자, EUV 기반 7나노 LPP 공정 생산을 시작하다

세계 첨단 반도체 기술 분야를 선도하는 삼성전자는 오늘 모든 공정 기술 개발을 완료했으며, 극자외선 (EUV) 리소그래피 기술과 함께 획기적인 공정 노드 7LPP, 즉 7나노(nm) LPP(Low Power Plus)의 웨이퍼 생산을 시작했다고 발표했다. 7LPP의 도입은 삼성 파운드리 기술 로드맵 진화를 명확히 보여주며, 고객에게 3나노의 확실한 가능성을 제공한다. 최신 공정 노드 7LPP의 상용화에 힘입어 고객들은 다양한 범위의 놀라운 신제품을 만들어 낼 수 있게 되며, 5G, 인공지능, 기업 및 하이퍼스케일 데이터 센터, IoT, 자동차, 네트워킹 같은 애플리케이션의 지평을 넓혀갈 것이다. 삼성전자 파운드리 영업마케팅팀 부사장 Charlie Bae는 “EUV 공정 노드의 도입으로 삼성은 반도체 산업의 조용한 혁명을 이끌어 왔다”면서, “웨이퍼 제조 방식의 이 근본적인 변화로 인해 고객들은 제품 출시 시간에서 상당한 개선의 기회를 얻게 되었으며 놀라운 처리량과 줄어든 레이어 및 더 나아진 수율을 얻게 되었다. 우리는 7LPP가 모바일 및 HPC뿐 아니라 광범위한 첨단 애플리케이션 모든 것에 최적의 선택임을 확신한다”고 말했다. EUV 기술의 특징 및 장점 EUV는 193나노 파장만 달성할 수 있고 값비싼 멀티 패턴 마스크 세트를 필요로 하는 기존의 아르곤 플로라이드(ArF) 액침 기술과는 달리 13.5nm 파장 광을 이용하여 실리콘 웨이퍼를 노출시킨다. ArF가 단일 레이어를 만들어 내기 위해 최대 4개의 마스크를 요구하는 것과 달리, EUV는 단일 마스크 사용이 가능하고 실리콘 웨이퍼 레이어를 만들어 낸다. 그 결과 삼성의 7LPP 공정은 비EUV 공정에 비해 총 마스크 수를 약 20% 줄이고, 이로 하여금 고객들은 시간과 비용을 절약할 수 있다. EUV 리소그래피의 개선은 또한 성능 증가, 전력소비 감소, 영역 축소에 더하여, 멀티 패턴 복잡성을 줄임으로써 설계 생산성을 향상해 준다. 이전의 10나노 핀펫 공정과 비교해, 삼성의 7LPP 기술은 줄어든 레이어와 나아진 수율로 공정 복잡성을 감소시켰을 뿐 아니라, 20% 높아진 성능이나 최대 50% 줄어든 소비 전력과 함께 40%의 영역 효율성 증가를 제공한다. EUV 기술에 이르기까지 삼성은 EUV 연구 개발을 시작한 2000년대부터, EUV 웨이퍼의 안정성 보장을 위해 생산 시설에 완전히 새로운 장비를 설계하고 설치하고자 업계를 선도하는 장비 제공업체들과의 협력적 파트너십을 통해 뛰어난 공정을 개발해 왔다. 최초의 EUV 생산은 대한민국 화성에 있는 삼성의 S3 팹에서 처음 시작되었다. 2020년까지 삼성은 차세대 칩 설계를 위한 대량 생산을 필요로 하는 고객들을 위해 새로운 EUV 라인의 안정적 증설이 이루어질 것으로 기대한다. EUV 개척자로서 삼성은 또한 EUV 마스크의 조기 결함 감지를 수행하는 고유한 마스크 검사 툴 등, 독점적 역량을 개발해 제조 사이클 중 조기에 그런 결함을 없앨 수 있도록 하였다. ASML 기업 마케팅 담당 부사장 Peter Jenkins는 “EUV 기술의 상용화는 반도체 산업의 혁명이며, 우리의 일상 생활에 엄청난 영향을 미칠 것”이라며, “이러한 반도체 공정 제조의 근본적인 변화를 위해 삼성 및 업계 선도를 달리는 다른 칩 제조사들과 협력할 수 있어 매우 기쁘다”고 말했다. 7나노 LPP EUV 에코시스템 SAFE™는 또한 EUV와 함께 7LPP 도입을 위한 완전한 준비를 마쳤다. 산업 전반의 생태계 파트너들은 삼성 고객들이 이 새로운 플랫폼에서 제품 개발에 전력을 쏟을 수 있도록 서비스, 첨단 패키징, 기초 및 첨단 설계자산을 제공할 것이다. 고성능 및 고용량 표준 셀부터 HBM2/2e 메모리 인터페이스 및 112G SerDes 인터페이스에 이르기까지, SAFE™는 7LPP에서 고객의 설계 구현에 도움을 줄 준비를 마쳤다. 삼성은 미국, 중국, 한국, 일본에서의 행사에 이어 유럽의 고객과 파트너들을 위해 10월 18일 독일의 뮌헨에서 올해의 마지막 파운드리 포럼을 개최할 예정이다. 삼성 파운드리에 대한 자세한 정보는 www.samsungfoundry.com에서 확인할 수 있다.