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歩留まり

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歩留まり [Yield] 半導体における歩留まりとは、欠陥のない合格品の割合である。 半導体の歩留まりは、ウェハ1枚に設計されたチップ(IC)の最大個数に対して実際に生産された良品チップの個数を百分率で計算したもので、不良率の対義語である。 すなわち、投入量に対して製造された量の割合を歩留まりという。歩留まりが高いほど生産性の高さを意味するため、半導体産業では歩留まりを高めることが重要である。 しかし、半導体は微細回路で構成されるため、プロセスの一部の欠陥や問題が製品に致命的な影響を及ぼすことがある。 したがって、歩留まりを高めるにはプロセス装置の精度やクリーンルームの清浄度、プロセスの条件など、諸般の事項を点検する必要がある。
수율
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