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スタック(Stack)工法

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スタック工法 [Stack method] 半導体チップの平面にセルを複層積み上げて集積度を高める技術。 半導体の容量が大きくなるにつれて、半導体チップの平面にのみセルを集積させる方法が物理的な限界に直面し、その結果として生まれた方法である。 セルを上に積み上げて集積度を高める「スタック(stack)工法」と、セルを下に掘り下げて集積度を高める「トレンチ(trench)工法」がある。 ウェハ表面に新しい層を積み上げてセルを集積させるスタック工法はトレンチ工法に比べて作業が比較的簡単で経済的である。 また、製品不良が発生したときに簡単に内部回路を確認して問題を解決できるので、効率性が高い。
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