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露光

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露光 [Stepper Exposure] マスクに光を通してウェハに回路を転写する工程。 露光は、カメラのシャッターで光量を調整する露出(exposure)と同義で使われることが多いが、半導体プロセスにおける露光は、光を選択的に照射する過程を意味する。 半導体の露光プロセスは、回路パターンが描かれたマスクに光を通して、感光液の膜が形成されたウェハ表面に回路パターンを焼き付ける作業である。 ウェハの上にマスクを配置して光を照らすと、回路パターンを通過した光がウェハ上に回路パターンを転写する。 この過程は、露光装置と呼ばれるステッパー(Stepper)を使って行う。ステッパーにマスクを入れて光を透過させると、感光液を塗布したウェハ上に微細な電子回路のパターンが形成される。