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酸化膜

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酸化膜 [Oxide Film] プロセスで発生する不純物からシリコン表面を保護する膜。 高温状態で酸素がシリコンウェハの表面と化学反応を起こした時に形成される、薄くて均一なシリコン酸化膜(SiO2)のことをいう。 目に見えない微細な汚染物質さえも集積回路の電気的特性に影響を与える可能性があるため、プロセスで発生する不純物からウェハを保護する酸化膜の役割はとても重要である。 また、酸化膜はウェハ上に形成された各配線がショートしないように区切る絶縁膜の役割も果たす。 一般的に酸化膜の形成方法には様々な種類があるが、高温による熱酸化プロセスが最も広く使われている。
[반도체 용어 사전] 산화막
[반도체 용어 사전] 산화막