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エッチング

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エッチング [Etching、食刻] ウェハで必要な回路パターン以外の部分を取り除くプロセス。 半導体のエッチング工程は、版画技法の一種である銅版画エッチング技法に似た原理を使用している。 化学薬品の腐食作用を用いてイメージを作るエッチング技法と同様に、半導体のエッチング工程も液体または気体の腐食液(etchant)を用いて不要部分を除去した後、半導体回路パターンを作る。 エッチング工程はエッチング反応を起こす物質の状態によって分類されるが、溶解性化学物質を使用するウェットエッチング(Wet etching)と、イオン化したガスなどを使用するドライエッチング(Dry etching)がある。 ドライエッチングはウェットエッチングに比べて費用が高く方法が難しいという短所があるものの、 最近は半導体回路線の幅が微細になり、これによる歩留まりを高めるためにドライエッチングが増える傾向にある。
[반도체 용어 사전] 식각
[반도체 용어 사전] 식각

▲エッチング工程(Etching)