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クラス

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クラス [Class] 半導体のクリーンルームの清浄度を示す単位。

半導体業界では、生産ラインの環境管理のために、生産ラインの清浄度を「クラス(Class)」という単位で区分して管理する。 クラス(Class)に続く数字は、環境の清浄度を等級で表したものである。 この数字は一般的に、縦・横・高さが各1フィート(ft)の立方体の空間に存在する0.5マイクロメートル(㎛)以上のホコリの数を示している。

たとえば、「クラス10」は、1立方フィート(ft3)内に、0.5マイクロメートル(㎛)以上のホコリが10個以下で存在する清潔度を意味する。 「クラス1」は、縦・横・高さがそれぞれ1フィート(ft)の立方体の空間内に、髪の毛の直径の約1000分の1の大きさのホコリが1つ存在するということになる。
클래스 10의 의미
클래스 10의 의미

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