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EDS工程

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EDS工程
[Electrical Die Sorting] ウェハに形成された集積回路チップの電気的動作が良好かどうかを判断するプロセス。 EDS工程は、Electrical Die Sortingの略語で、ウェハの完成段階にある個別のチップの電気的動作が良好かどうか検査するプロセスである。 EDS工程は大きく分けて、①ET Test & WBI工程(Electrical Test & Wafer Burn In)、②Pre-Laser、③Laser Repair & Post Laser、④Tape Laminate & Back Grinding、⑤Inkingの5段階がある。 まず、電気的な特性を検査し、各チップが規定に適合した品質レベルに達しているか確認する。 各検査過程で良品か判断し、修復(Repair)できると判定されたチップは良品として作り直し、不良品と判定されたチップはインキング(Inking)を行い、その後の工程から取り除く。 このように、EDS工程はチップが良品かどうかを判断する第一関門となり、半導体プロセスに欠かせない工程である。