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氧化膜

氧化膜(Oxide Film) 保护硅表面免受加工过程中产生的杂质影响的薄膜。 在高温下,使氧气与硅晶圆表面发生化学反应而形成的一层均匀的薄膜,是二氧化硅(SiO2)薄膜。 特别是,因为即使是肉眼看不到的微小杂质也会影响集成电路的电气特性,氧化膜在保护晶圆免受工艺过程中产生的杂质影响方面起着非常重要的作用。此外,氧化膜还起到绝缘膜的作用,使晶圆上绘制的每根导线相互隔开,防止短路。 一般来说,形成氧化膜有几种方法,但最常见的是利用高温的热氧化工艺。
[半导体术语词典]氧化膜
[半导体术语词典]氧化膜