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光罩

光罩(Mask) 在半导体集成电路制造工艺流程中,在光刻工艺过程中使用的带有微电路的玻璃板。 光罩是利用电子激光设备在玻璃板上绘制已设计好的电路图案而制成的。 光刻工艺是在晶圆上绘制电子电路的步骤。在半导体芯片上的树百万个电子元件和连接它们的电路线都由此绘制而成。将光罩放置在设备中,通过光线照射穿过,在涂有光刻胶的晶圆上绘制出微型电路图。 由于半导体电路非常微小,因此制作的光罩比晶圆更大。具有电路图案的光罩通过光刻工艺在单个芯片上光刻出电路图案,然后反复进行光刻工艺照射到整个晶圆表面上。
光罩(Mask)
光罩(Mask)