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蚀刻

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蚀刻 蚀刻是从晶圆上除去必需电路图案以外部分的工艺。 半导体蚀刻工艺采用与铜板蚀刻的雕刻方法类似的蚀刻逻辑。如同通过化学腐蚀蚀刻图像一样,半导体蚀刻工艺也使用液体或气体蚀刻剂来去除不需要的部分,并绘制半导体电路图案。 蚀刻工艺可根据对蚀刻本身起反应的材料类型进行分类。分为使用可溶性化学材料的湿法蚀刻和使用电离气体和类似物质干法蚀刻。 干法蚀刻比湿法蚀刻成本更高且复杂。然而,随着半导体电路间隙缩小,为了提高产量,干法蚀刻逐渐普及。
[반도체 용어 사전] 식각
[반도체 용어 사전] 식각

▲ The etching process