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沉积

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【沉积】 沉积是一种通过将薄膜涂覆在晶圆表面,赋予其电特性的半导体制造工艺。 该工艺包括将分子或原子水平的多层材料涂覆在晶圆上。薄膜的厚度与均匀性决定了半导体的质量,可谓半导体制造的关键步骤。因为涂层非常薄,所以需要复杂且精密的技术。 沉积分为物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。其中,PVD(物理气相沉积)主要用于沉积金属薄膜,不伴随化学反应。 而CVD(化学气相沉积)则是将外部能量施加到由气体的化学反应形成的颗粒蒸汽。可应用于导体、绝缘体和半导体沉积薄膜。