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等级

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等级 用于表示半导体洁净室洁净度的单位。

半导体半导体行业以“等级(Class)”为单位管理生产线环境的清洁度。“等级”后面的数字表示洁净室的洁净程度。该数字通常表示高、宽、深为1英尺(ft)的立方体中大于等于0.5㎛的灰尘颗粒数量。 “等级10(或10级)”指每立方英尺(ft3)中大于等于0.5㎛灰尘颗粒少于10个。 例如,“等级1(或1级)”相当于1立方英尺(ft3)空间中存在一个相当于人类发丝直径1/1000大小的灰尘颗粒。

클래스 10의 의미
클래스 10의 의미