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[新芯辞典] 超纯水

超纯水(Ultra Pure Water, UPW)是一种高度纯 净的水,它是普通的水去除掉矿物质、微粒、细菌微生物和溶解气体后得到的一种水。超纯水主要用于起精细半导体制造过程中一些工艺前后的清洗挥作,有时也用于园地光或晶切割。
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