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[视频] 在毫米级晶圆上,绘制纳米级图案

前言:光刻与EUV技术

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Samsung Foundry最近在国际互连技术大会(IITC)上发表了一篇关于EUV极小间距单次构图技术的阐释。本视频旨在帮助更多的人了解该此阐释,以及EUV技术的特点。